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Revision History
1 This Guide provides examples of the capabilities and limitations of various measurement technologies applicable to BWS as well as their suitability for different applications
減圧器は，制御されない場合，多数の人工的パーティクルを疑集，疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために，この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し，圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。
本スタンダードは，FPD用カラーフィルタの耐薬品性を評価するための試験方法を2つ規定する。一方は，定性的であり，もう一方は定量的なものである。
the following merits can be expected: Both panel and equipment manufacturers
D01500 - SEMI D15 - FPDガラス基板の表面うねりの測定方法 StdPbc-0312 Revision HistoryGlobal Flat Panel Display CommitteeJapanese FPD Materials and Components Committee2003428Japanese Regional Standards Committee20036www. semi. org20037199612 FPD Referenced SEMI Standards SEMI D3 Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates SEMI D9 Definitions for Flat Panel Display Substrates